半導(dǎo)體檢測的測試系統(tǒng)稱為ATE，由電子電路和機(jī)械硬件組成，是由同一個主控制器指揮下的電源、計(jì)量儀器、信號發(fā)生器、模式的合體，用于模仿被測器件將會在應(yīng)用中體驗(yàn)到的操作條件，以發(fā)現(xiàn)不合格的產(chǎn)品。

測試系統(tǒng)硬件由運(yùn)行一組指令(測試程序)的計(jì)算機(jī)控制，在半導(dǎo)體檢測時(shí)提供合適的電壓、電流、時(shí)序和功能狀態(tài)給DU測試的結(jié)果和預(yù)先設(shè)定的界限，做出相應(yīng)的判斷。

半導(dǎo)體檢測的測試程序的目的是控制測試系統(tǒng)硬件以相應(yīng)的方式保障被測器件達(dá)到或超過它的那些被具體定義在器件規(guī)格書里的程序通常分為幾個部分，如DC測試、功能測試、AC測試等。DC測試驗(yàn)證電壓及電流參數(shù);功能測試驗(yàn)證芯片內(nèi)AC測試，以保障芯片能在特定的時(shí)間約束內(nèi)完成邏輯操作。